應用實績

APPLICATION

應用實績

日商優貝克大型濺鍍設備

Array段物理氣相沈積設備_SMD

  • 特性:
  • 成功導入ANTS磁流體軸封於ULVAC ARRAY段用大型濺鍍設備,適用於大氣/真空銜接腔體、高溫製程腔體及玻璃載具旋轉腔體等場所

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