Array段物理氣相沈積設備_PiVot

• 特性：

成功導入ANTS磁流體軸封於AMAT PiVot LCD ARRAY段用大型濺鍍設備，適用於大氣/真空銜接腔體、高溫製程腔體及玻璃載具旋轉腔體等場所