產品介紹

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AS-One

AS-One 100 / 150

AS-One

  • 產品型式:

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詳細說明

特性說明:

 

- 可搭配4" (100 mm)及6" (150 mm)晶片

- 落地式系統可降低使用的樓地板面積

- 高信賴性及低總體成本

- 可搭配真空系統及製程氣體控制環境

- 不銹鋼冷壁式技術提供極高的製程再現性、潔淨度及無污染的環境,更擁有極快的降溫速度及低的記憶效應

- 高溫計搭配熱電耦型溫度計,再輔以最先進的數位PID控制,提供從低溫至高溫區段的精準溫度控制

- 邊緣高溫計的窺視窗可加強樣品座的溫度控制,提升化合物半導體及小樣品的溫度精準度

- 可提供客戶傑出的技術及製程支援

應用產業:

 

• RTA (Rapid Thermal Annealing) 快速升溫退火

• RTO (Rapid Thermal Oxidation) 快速升溫氧化

• Contact annealing 接觸層退火

• Implant annealing 摻雜退火

• CVD of graphene 石墨烯CVD

• CVD of carbon nanotube 奈米碳管CVD

 

 

 

 

 


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